SiGlas?硅電容MEMS傳感器


基于可變電容測壓原理的SiGlas?傳感器元件具有超薄的單晶硅膜片,以先進的半導體工藝制造,可測量微小壓差。非常小的尺寸和質量使其對位置的敏感度遠低于更大更重的金屬膜片。作為一種密閉型的傳感器,可用于空氣流量測量,關鍵環境控制和泄漏檢測系統等多種應用領域。配備SiGlas?傳感器元件的微差壓變送器具有良好的精度,穩定性和過壓能力。


Si-Glas?傳感元件由獨特的三層結構組成。中間層為僅有幾微米厚度的單晶硅膜片,熔接于上下兩層特殊材質的玻璃之間。差壓測量的基本原理如下圖所示。當圖中下部壓力大于上部壓力時,膜片向上彎曲。由于電容值與電容率和作用面積成正比,而與作用距離成反比,因此上部電容值C1增大,而下部電容值C2減小。由此壓力差異可以轉化為電信號進行處理和輸出。

Si-Glas?傳感元件使用的硅膜片具有良好的彈性和延展性,金屬和晶體通過濺射的方式與硅片牢固結合,因此傳感元件具有良好的溫度范圍和安裝位置變化的適應性,具有良好的長期穩定性。這是雅斯科特有的技術,也是確保雅斯科的微差壓變送器精確可靠的關鍵。






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